光學測微原理
要讀出1微米甚至更微小的位移量可以采用各種方式,
但首先要把位移量放大,然后再將量值讀得。
圖2-1示出的是一個普通機械杠桿的放大指示裝管。
桿機械先把測頭的位移變成杠桿的轉動,然后在長臂的未牌
指示出來。假如在杠桿長臂的末端接上另一杠桿的短隙,黃
能得到更大的放大倍數(shù)。機械式測微表就是這種結構(有時
采用具有類似放大作用的齒輪傳動)。這種測微表如果只用-
級放大機構,就不能獲得很大的放大倍數(shù):但放大機構級票
越多,傳動間隙影響越大,示值可靠性越差。如果在江肝
處裝一反射鏡,如圖2-2, 并在某一方向投入一束光A, 這
束光被反射在標尺上形成光斑。當測桿上下移動時,光斑在
標尺上的移動距離將比測桿的位移量大許多倍。這稱之為
“光學杠桿”
一杠桿的一背是光束,因此,可以將長臂做得很長,以獲得較大的
放大倍數(shù)。
光學杠桿的兩臂長為I與L, 其放大倍數(shù)是L/1.
另外,由于使用了反射鏡,光學杠桿還增加了一倍的放大
倍數(shù)。如圖2-3, 當反射鏡轉過a角,它的法線N也轉
動a角,到N, 位置,入射光束 A的反射光束的方向也從A'
轉到A, A'與4; 之間的角度是Δ.
圖2-3 光學杠桿獲得較大
另版大倍數(shù)的原理
按反射定律
也就是說,當光學杠桿轉動a角時,杠桿長臂(光束A') 轉
2a 角,與機械杠桿比較額外加大一倍。
如圖2-2這種形式的反射鏡轉動機構要求擺動軸線必須
通過反射面;同時,在撰動過程中不允許反射鏡有附加的前
后竄動。否則會使光斑在刻尺上產生附加位移,造成儀器示
值誤差。而采用自準直平行光管系統(tǒng)可以減免這些影響,提
高示值精度。