光學(xué)計(jì)的儀器精度
計(jì)量工作人員關(guān)心的一個(gè)主要問題是“在該儀器上測(cè)量
的量值的正確程度如何?”也就是測(cè)量精度怎樣?
分析和判斷量值的準(zhǔn)確程度主要從以下幾方面者由
(1) 儀器較大不準(zhǔn)確度
是指儀器在示值范圍內(nèi)示值的較大誤差。它反映的是
器本身的精度指標(biāo)。
對(duì)絕對(duì)量儀,計(jì)量人員不必另用量塊進(jìn)行對(duì)比,因
為標(biāo)準(zhǔn)尺寸的基準(zhǔn)件誤差已包括在儀器誤差之內(nèi);對(duì)于比較
量儀,量值的可靠性以測(cè)量較大不準(zhǔn)確度衡量。
(2) 測(cè)量較大不準(zhǔn)確度
是指在儀器的測(cè)量范圍內(nèi),按規(guī)定的使用條件,如基準(zhǔn)
較塊的等級(jí)、操作時(shí)允許室內(nèi)溫度變化的大小等因素的影響
下,讀得量值的較大誤差。) (微米),
光學(xué)計(jì)測(cè)量較大不準(zhǔn)度為士(0. 5+_二100)
接觸式干涉儀測(cè)量較大不準(zhǔn)確度為士(0. 06+0. 8x
10-·L) (微米)。其中L為被測(cè)零件的長度(毫米)。
如計(jì)量人員操作時(shí)不符合操作條件,則不能保證量值的
準(zhǔn)確性。
(3) 示值不穩(wěn)定性
是指在外界條件不變的情況下,對(duì)同一尺寸多次重復(fù)測(cè)
量時(shí),示值較大變化量。此變化量反映出儀器的偶然誤差。