測量桿徑向間隙引入誤差
生產單位把測量桿軸套配合間隙控制在2微米以內,因
間隙能使測量桿傾斜B角值,由此造成的軸向位移誤差是二
次小量(即圖2-30中,ΔS-0) , 可以不計,但傾斜使臂長a
增加了Δa, 它對分劃板上象的位移是極敏感的。
如圖2-30所示,測量桿上升S距離后,反射鏡P應轉
動a角,但由于桿的傾斜,軸端上面鋼球與反射鏡背面的接
觸點,從O點移動到O'點,使斜角a變成a', 臂長增加了
在圖2-30中可看到,軸套間隙能使測量桿向左傾斜,也
能使它向右傾斜,Aa 既能增加臂長,又可能縮短臂長。所以
影響量值的有正負二個方向。
若測量所使用的示值范圍在0. 1毫米以內,一般采用標
準件“對零”, 使反射鏡處于如圖2-31 上的M位置,與測量桿
軸線垂直,因此,測量桿軸線的傾斜對反射鏡在零位的基準
位置影響極小。在工件測量時,測量桿移動了距離S, 因左
右傾斜產生了Aa 的變化,而造成了上述的誤差,較大為
士0.03 微米。
若簡量房使用的示值要求在0. 1~0, 2毫來范圍以內
方向的增加成減中,標準件的基準位置只能兩節(jié)在標尺示負
的一間,反財鏡起始點處于上竭或下端的傾斜位
置,如圖231房示,這樣,在基準位置上也引入
M 丁±0. 03微米的誤差,故此項較大誤差為:8, ”
±0. 06 微米。從圖上還可以看出,在基準位置的測
量桿傾斜方向與在測量位置的測量桿傾斜方向相同
時,所造成的誤差較大。